采用低温等离子体油雾、废气等污染介质时，等离子体中的 离子起决定性的作用。流星雨壮的 离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染节制在等离子体的作用下‘产生自由基’活化后的污染物分子经过等离子体定向连化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子键断裂，污染介质，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分对气态污染物的降解机理有足够的能量来产生自由基，引发一系列复油烟等离子杂的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子、分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
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